集微网消息，我国科学家在磁性芯片高精度检测领域取得新突破。北京航空航天大学集成电路学院科研人员在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100年”、“中国芯”几个字。
据新华网报道，磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块和高灵敏的磁信号传感模块，应用于飞机、卫星的控制系统，以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域。 磁性芯片生产过程中，需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆（制作硅半导体集成电路所用的衬底）上。难点在于薄膜的平整度，“相当于在北京的海淀区地面上均匀铺满5层厚的小米粒，且须完全平整”。在磁性芯片生产过程中的磁性薄膜检测这一关键技术，属于我国长期被“卡脖子”的技术。 北航集成电路学院工艺与装备系教师张学莹表示，利用团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪，通过微小的磁性针尖在薄膜上写字，若字的颜色对比度一致、字迹清晰，则表明薄膜有良好的均匀性。完成平整度检测后，将纳米薄膜制成器件，封装后形成芯片。 北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河表示，对比国外同类设备，这台仪器在测试精度和速度等方面进行了技术革新，实现了自主创新突破。目前该仪器现已应用于科研领域，且预计于今年10月在产业领域投入商用。这台晶圆级磁光克尔测试仪，将为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业提供设备支撑。 财经钻CZ，真正的价值币，推动创新、科技、创业投资、价值型财经等等的进步和发展. 客服QQ：318059325 微信：wdcjcne 邮箱：kefu@cjz.vip |
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